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| 四氟化钛 | ||
| CAS 号: | 7783-63-3 | |
| 用途: | 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线等 | |
名 称：四氟化钛
英文名称：Titanium tetrafluoride，Titanium(IV)fluoride
分子式：TiF4
分子量：123.87
CAS号：7783-63-3
EINECS号：232-017-6
性 状：白色吸湿性粉末。相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。
用 途：用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线等
包装：1KG/瓶，25KG/桶，或根据客户要求
